Warning: file_get_contents(/index.php/widgetsproinstance-get_css-1620646557-YXJ0aWNsZS15aS5odG1s.html?59869): failed to open stream: No such file or directory in /data/httpd/www.chattyleprechaun.com/app/site/lib/controller.php on line 536 牛津儀器新版AZtecEBSD軟件介紹-1 —— 采集之更新-電子顯微鏡耗材在線商城-牛津儀器
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        牛津儀器新版AZtecEBSD軟件介紹-1 —— 采集之更新

        發布日期:2021-11-24 00:00

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        一. 前言

        牛津儀器一直以來致力于微觀分析技術的發展和進步,不斷研發升級,為用戶提供功能更強大,使用更方便的軟硬件系統。作為一款集成EDS、EBSD和WDS的軟件,AZtec于2021年6月發布5.1版本。相比前一代5.0版本,雖然只是個小版本號的升級,但是針對EBSD的采集及數據后處理,均有不少改進和功能更新。


        EBSD采集部分的更新有:

        • 專門的TKD分布圖導航工具欄,使得 TKD分析更易操作、更高效

        • 花樣動態陰影掩模(TKD、3D EBSD、斷口和不平樣品分析時會用到)

        EBSD數據后處理部分的更新有:

        • 母相晶粒分析

        • SEM圖像查看器

        • 畸變、漂移矯正

        • 晶粒參數相關性分析

        • 用戶管理的庫

        • 更多細節改進

        我們將通過兩篇文章分別為大家介紹采集與數據后處理新增的功能,本文主要介紹第一部分:采集之更新

        二. 專門的TKD分布圖導航工具欄

        和常規的EBSD分布圖導航工具欄一樣,TKD分布圖導航工具欄依序分為6個步驟:

        1. 樣品描述

        2. 掃描圖像

        3. 優化花樣

        4. 優化解析器

        5. 采集分布圖數據

        6. 構建分布圖數據

        TKD分布圖導航工具欄

        1.  樣品描述


        在樣品描述中,增加了常見的TKD預傾臺模型,以幫助用戶選擇正確的預傾臺預傾角度,包括:-90度,-45度,-20度和0度。其中-20度或0度是常見的TKD預傾臺角度。樣品總的傾轉角度為預傾臺預傾角度加上電鏡樣品臺的傾轉角度,如果為負角度數,也不再顯示提示信息。
        如果對樣品參考取向有要求,那么在新的樣品描述頁中,樣品的放置方向(CS0)和采集參考坐標系(CS1)之間的關系更容易選取,設置合適的RD-TD-ND對應關系即可。

        TKD樣品幾何條件設置界面

        2.  掃描圖像


        AZtec除了可以采集電鏡中獲取的二次電子(SE)和背散射電子(BSE)圖像,還可以采集來自于EBSD探測器前端選配安裝的前散射探測器(FSD)圖像。常規的FSD圖像根據FSD的位置,可以獲得原子序數襯度圖(上部FSD)和取向襯度圖(下部FSD)。通過下部FSD通道疊加顏色,還可以得到彩色的FSD圖像。對于TKD樣品來講,下部FSD采集的圖像其實也是一種暗場像(Darkfield, DF)。它提供了樣品的厚度、晶體取向、和原子序數的襯度。如果將下部FSD采集的圖像信號相減,那么就能獲取到取向暗場像(Oriented Darkfield,ODF),能揭示更明銳的晶體取向信息。

        利用FSD探測器采集的暗場像(DF)和取向暗場像(ODF)

        3.  優化花樣


        TKD花樣由于樣品的原因,局部偶爾會有遮擋,形成陰影,其邊緣會干擾衍射帶的檢測,影響最終的標定。同樣的問題也可能發生在3D EBSD、斷口和不平樣品表面的數據采集。在AZtec5.1中,除了常規的靜態背底和動態背底,增加了動態陰影掩??鄢车椎倪x項,能有效排除掉陰影對于衍射帶檢測的干擾。

        有陰影遮擋的花樣

        衍射帶檢測在陰影邊緣,而非衍射帶上,無法正確標定

        用動態陰影掩??鄢车缀?,更準確地檢測到衍射帶,順利標定

        4.  采集分布圖數據

        AZtec5.1新增加了多邊形工具,來設置采集區域,這樣能幫助定義不規則的TKD采集區域。定義了多邊形以后,需要點擊開始采集按鈕才會開始采集,而不像之前的設置,直接就開始采集了。這樣的設置尤其適合電解拋光的穿孔樣品、FIB提取的樣品不規則采集區域、APT樣品等。

        定義多邊形采集區域,可以快速預覽TKD樣品的整個薄區,方便選取感興趣

        以上為AZtec 5.1數據采集軟件更新的主要內容,帶來了更便利的TKD數據采集更準確的標定。下一期我們會主要關注EBSD數據后處理的新功能介紹。


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