應用報告 | 到底有沒有，掃一掃就知道 ——AZtecWave的Wave Scan功能介紹-電子顯微鏡耗材在線商城-牛津儀器

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應用報告 | 到底有沒有，掃一掃就知道 ——AZtecWave的Wave Scan功能介紹

發布日期：2022-06-06 15:38

在之前的應用報告中，我們介紹了牛津儀器全新AZtecWave波譜系統，它的210mm半徑大羅蘭圓結構帶來了優異的分辨率，并且可以達到電子探針（EPMA）相同水平的定量準確性。

日常使用過程中很多人都有體會，由于EDS的能量分辨率分辨率所限，在分析過程中常常會遇到譜峰重疊的情況，如Cr/Mn, Fe/Co, Ba/Ti, S/Pb, 稀土元素等。即使利用具有多道譜儀的EPMA(電子探針)對整個能量范圍段進行全譜掃描，效率也較低。AZtecWave的 WDS Scan譜圖掃描功能，拖動鼠標選中需要分析的能量段，即可獲得該能量段內高分辨率的WDS譜圖，幫助確認重疊元素及痕量元素的存在。

1 區分嚴重重疊峰元素

如圖1，為某輝鉬礦（MoS₂）樣品的EDS及WDS譜圖。2.307kev的S k_α1線和能量為2.293kev的Mo L_α1線，相差17eV，黃色的EDS譜圖無法將兩者分開。而通過在2.25keV到2.48keV能量范圍內WDS掃描，如灰色譜圖，可清楚的確認Mo和S元素均存在。

圖1 某輝鉬礦（MoS₂）樣品EDS及WDS譜圖分析S k_α1線和Mo Lα1

第二個樣品為 Ti-6Al-4V 合金，如圖2。WDS Scan所得的灰色譜圖中，Ti K_β1與V K_α2 ,V K_α1能量分別為4.932keV 和4.945keV, 4.952keV。能量相差分別為13eV和20eV，通過WDS Scan掃描分析，多個相鄰線系存在與否一目了然。即使能量相差7eV的V K_α2 和V K_α1同樣可以區分，充分展現了AZtecWave優異的能量分辨率。

圖2 某Ti6Al4V樣品EDS及WDS譜圖分析Ti K_β1與V K_α2 ,V K_α1

2 辨別痕量元素存在與否

WDS Scan功能除了可以可視化區分能譜中的重疊峰，也可用于確認痕量元素的存在與否。如圖3為WDS Scan功能對鋼樣品中存在的痕量P（約100 ppm）的分析。在AZtec軟件中僅需選擇要掃描的線系P kα并輸入預期含量0.01%，軟件會自動設置如采集時間、狹縫寬度、狹縫位置等參數。在Wave Scan過程中，每步最多可實現50秒的駐留時間，從而實現痕量元素的檢測。

圖3 WDS Scan功能分析含有約100ppm P的鋼鐵樣品

AZtecWave中的Wave Scan功能可通過自動模式或簡單的設置，便捷的區分能譜分析中存在的疑慮，尤其對嚴重重疊峰及痕量元素的確認幫助明顯。如果對存疑元素需要進一步做定量及Mapping分析，可以進入AZtecWave對應模塊進行后續分析。

如需了解更多關于AZtecWave的信息，可點擊AZtecWave。

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